μHシリーズは、高精度・高品質が要求される各種電子部品製造装置に対応すべく、当社で開発しました。
低膨張合金で、常温付近の熱膨張係数が、一般の金属材料に比べて小さいことを特徴とします。
熱変形を避けたい構成要素に使用することにより、熱膨張による精度低下を安易に防止することが可能です。
μHシリーズでは、常温付近の熱膨張係数が0.6×10-6/°Cと超低膨張のSタイプをはじめとして、多様なニーズにお応えするために、M・B・G・GDと5タイプを提供致します。
μHシリーズ 熱膨張係数グラフ
50°C | 100°C | 200°C | 300°C | 400°C | 500°C | |
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FC | 11.0 | 11.3 | 11.9 | 13.0 | 13.4 | 14.0 |
μHM | 1.0 | 1.6 | 2.5 | 4.0 | 7.0 | 9.0 |
μHB | 2.2 | 3.0 | 3.5 | 4.5 | 6.0 | 8.5 |
μHG/GD | 3.5 | 4.0 | 5.0 | 6.0 | 8.5 | 10.0 |
μHS | 0.6 | 1.0 |